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西安交通大学卢秉恒院士先进制造技术研究进展

    中国工程院院士、西安交通大学教授、博士生导师卢秉恒教授在《中国工程科学》杂志中系统介绍了西安交通大学近些年开展的研究工作。

    其中阐述了微纳米压印技术。纳米压印技术被认为是大面积(米级)上制造微纳结构,应用于柔性显示、太阳能板、减阻结构等方面高效、低成本的制造技术。但尺度效应是制造大深宽比、纳米沟槽的障碍。液体的类固化现象及压印压力使模板变形等形成了微纳图形复形的困难。开展了电场诱导结构成形的工艺试验研究,进行了深亚微米结构的诱导成形实验,实现了线宽150 nm、深宽比大于10 的大面积纳米结构复型造,并探讨了电诱导微纳结构成型工艺在微透镜阵列及高亮度纳米结构化发光二极管(LED)制造中的应用。外场作用,弱化纳米尺度效应的流体阻力。在弱化纳米尺度效应使纳米制造变得容易的同时,还提出了一种利用纳米尺度效应,实现精确成形的技术方法。利用液体在微纳孔的张力,以纳米孔阵列作为模板,实现如图2所示的微透镜阵列制造,还可以利用电场进一步诱导可控制透镜的高度和曲率,实现可控制造。

 
图1 电毛细力驱动的纳米流变成形原理
图2 利用纳米尺度效应实现的微透镜阵列
纳米结构模塑成形
注:本文摘自《中国工程科学》2013年第15卷第1期,《西安交通大学先进制造技术研究进展》卢秉恒
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